|
A simple route to prepare SiO2 insulation film by atmospheric pressure plasma jet |
|
|
|
Titel: |
A simple route to prepare SiO2 insulation film by atmospheric pressure plasma jet |
Auteur: |
Wang, Qizhen Liu, Zhihui Zhang, Xin Zhang, Yi Jiang, Tianlong Zhang, Weiming Wang, Hualin Jiang, Weiwei Liu, Shimin Liu, Chaoqian Wang, Nan Cui, Yunxian Ding, Wanyu Dong, Chuang |
Verschenen in: |
Materials letters |
Paginering: |
Jaargang 316 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|