|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 87 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of NH3 flow on electrical and mechanical properties of ALD TiN thin films |
| Auteur: |
Cho, Hyunchol Nie, Ben Dhamdhere, Ajit Meng, Yifei Neuburger, Monica Ahn, Ji-Hoon Jung, Sung-Hoon Kim, Hae-Young |
| Verschenen in: |
Materials letters |
| Paginering: | Jaargang 291 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 87 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |