|
Amazing diffusion depth of ultra-thin hafnium oxide film grown on n-type silicon by lower temperature atomic layer deposition |
|
|
|
Titel: |
Amazing diffusion depth of ultra-thin hafnium oxide film grown on n-type silicon by lower temperature atomic layer deposition |
Auteur: |
Lu, Qihai Huang, Rong Lan, Xiaoling Chi, Xiaowei Lu, Chao Li, Cheng Wu, Zhiguo Li, Jun Han, Genliang Yan, Pengxun |
Verschenen in: |
Materials letters |
Paginering: |
Jaargang 169 (2016) nr. C pagina's 4 p. |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|