|
Microwave plasma modification-assisted shear-thickening polishing of single-crystal silicon carbide |
|
|
|
Titel: |
Microwave plasma modification-assisted shear-thickening polishing of single-crystal silicon carbide |
Auteur: |
Shen, Mengmeng Wei, Min Wu, Lingwei Hong, Binbin Ye, Jiahao Chen, Hongyu Yuan, Julong Lyu, Binghai Wang, Chuansheng Deng, Hui Hang, Wei |
Verschenen in: |
Precision engineering |
Paginering: |
Jaargang 94 () nr. C pagina's 13-25 |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Inc. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|