|
Damage-free and ultra-smooth chemical mechanical polishing of calcium fluoride crystal surfaces |
|
|
|
Titel: |
Damage-free and ultra-smooth chemical mechanical polishing of calcium fluoride crystal surfaces |
Auteur: |
Li, Jiaqi Hu, Haixiang Qiao, Guanbo Qi, Erhui Bai, Yang Li, Fukun Liu, Zhenyu Li, Lingzhong Yang, Zhifan Zhang, Xuejun |
Verschenen in: |
Precision engineering |
Paginering: |
Jaargang 94 () nr. C pagina's 725-735 |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Inc. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|