|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures |
| Auteur: |
Kizu, Ryosuke Misumi, Ichiko Hirai, Akiko Gonda, Satoshi Takahashi, Satoru |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 83 () nr. C pagina's 152-158 |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |