|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Preliminary study of photomask pattern inspection by beam-shaped knife-edge interferometry |
| Auteur: |
Wang, Zhikun Lin, Pengfei Lee, ChaBum |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 77 () nr. C pagina's 104-109 |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |