|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Surface measurement of silicon wafer using harmonic phase-iterative analysis and wavelength-scanning Fizeau interferometer |
| Auteur: |
Kim, Sungtae Kim, Yangjin Sugita, Naohiko Mitsuishi, Mamoru |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 75 () nr. C pagina's 142-152 |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |