|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 41 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of mechanically induced subsurface damage and its removal by chemical mechanical polishing for gallium nitride substrate |
| Auteur: |
Aida, Hideo Takeda, Hidetoshi Doi, Toshiro |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 67 () nr. C pagina's 350-358 |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 41 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |