|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Material removal efficiency improvement by orientation control of CMP pad surface asperities |
| Auteur: |
Suzuki, Norikazu Misono, Hirotaka Shamoto, Eiji Hashimoto, Yohei Yasuda, Hozumi Mochizuki, Yoshihiro |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 62 () nr. C pagina's 83-88 |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |