|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 60 gevonden artikelen
| Titel: |
Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings |
| Auteur: |
Shimizu, Yuki Mano, Kazuki Murakami, Hiroki Hirota, Shunsuke Matsukuma, Hiraku Gao, Wei |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 60 () nr. C pagina's 280-290 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 60 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |