|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 42 van 42 gevonden artikelen
| Titel: |
Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers |
| Auteur: |
Liu, Haijun Zhu, Xianglong Kang, Renke Dong, Zhigang Chen, Xiuyi |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 46 (2016) nr. C pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 42 van 42 gevonden artikelen
| << vorige |