|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Deformable mirrors with thermo-mechanical actuators for extreme ultraviolet lithography: Design, realization and validation |
| Auteur: |
Ravensbergen, S.K. Rosielle, P.C.J.N. Steinbuch, M. |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 37 (2013) nr. 2 pagina's 11 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 30 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |