|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
A sub-nanometric three-axis surface encoder with short-period planar gratings for stage motion measurement |
| Auteur: |
Kimura, Akihide Gao, Wei Kim, WooJae Hosono, Koji Shimizu, Yuki Shi, Lei Zeng, Lijiang |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 36 (2012) nr. 4 pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |