|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Diamond disc pad conditioning in chemical mechanical planarization (CMP): A surface element method to predict pad surface shape |
| Auteur: |
Li, Z.C. Baisie, Emmanuel A. Zhang, X.H. |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 36 (2012) nr. 2 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |