|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 15 gevonden artikelen
| Titel: |
Size determination of microscratches on silicon oxide wafer surface using scattered light |
| Auteur: |
Ha, Taeho Miyoshi, Takashi Takaya, Yasuhiro Takahashi, Satoru |
| Verschenen in: |
Precision engineering |
| Paginering: | Jaargang 27 (2003) nr. 3 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 15 gevonden artikelen
| << vorige |