|
Efficient fabrication of high-quality quartz pendulous via femtosecond laser bessel beams writing-enhanced wet etching |
|
|
|
Titel: |
Efficient fabrication of high-quality quartz pendulous via femtosecond laser bessel beams writing-enhanced wet etching |
Auteur: |
Ma, Weifeng Yu, Xiangtao Wang, Ruishi Tian, Feng Tang, Zan Zhang, Zongquan Qiu, Lirong Shang, Kejun Xu, Kemi Zhao, Weiqian |
Verschenen in: |
Optics communications |
Paginering: |
Jaargang 587 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|