|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
A telecentricity matching design for non-critical lithography: Incorporating homogenization induced discreteness of pupil pattern |
| Auteur: |
Rui, Dawei Yang, Huaijiang |
| Verschenen in: |
Optics communications |
| Paginering: | Jaargang 476 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2020 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |