|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Design of the point spread function of a lens, binary phase filter combination and its application to photolithography |
| Auteur: |
Chen, H.Y. Mayhew, N. Paige, E.G.S. Yang, G.G. |
| Verschenen in: |
Optics communications |
| Paginering: | Jaargang 119 (1995) nr. 3-4 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
1995 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |