Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 16 van 28 gevonden artikelen
 
 
  Influence of chemical mechanical polishing of copper on the inherently selective atomic layer deposition of zirconia
 
 
Titel: Influence of chemical mechanical polishing of copper on the inherently selective atomic layer deposition of zirconia
Auteur: Saha, Soumya
Anderson, Nickolas
Jursich, Gregory
Takoudis, Christos G.
Verschenen in: Thin solid films
Paginering: Jaargang 734 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2021
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 16 van 28 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland