|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
Measurement sensitivity of DUV scatterfield microscopy parameterized with partial coherence for duty ratio-varied periodic nanofeatures |
| Auteur: |
Cho, Eikhyun Kim, Taekyung Bae, Yoon Sung Choi, Sang-Soo Barnes, Bryan M. Silver, Richard M. Sohn, Martin Y. |
| Verschenen in: |
Optics and lasers in engineering |
| Paginering: | Jaargang 152 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |