|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Experimental study and analysis of corner compensation structures for CMOS compatible bulk micromachining using 25wt% TMAH |
| Auteur: |
Mukhiya, R. Bagolini, A. Bhattacharyya, T.K. Lorenzelli, L. Zen, M. |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 42 () nr. 1 pagina's 127-134 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |