Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 15 van 28 gevonden artikelen
 
 
  Experimental study and analysis of corner compensation structures for CMOS compatible bulk micromachining using 25wt% TMAH
 
 
Titel: Experimental study and analysis of corner compensation structures for CMOS compatible bulk micromachining using 25wt% TMAH
Auteur: Mukhiya, R.
Bagolini, A.
Bhattacharyya, T.K.
Lorenzelli, L.
Zen, M.
Verschenen in: Microelectronics journal
Paginering: Jaargang 42 () nr. 1 pagina's 127-134
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 15 van 28 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland