|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 46 gevonden artikelen
| Titel: |
Convex corners undercutting and rhombus compensation in KOH with and without IPA solution on (110) silicon |
| Auteur: |
Jia, Cuiping Dong, Wei Liu, Caixia Zhang, Xindong Zhou, Jingran Zhong, Zhicheng Xue, Hailin Zang, Huidong Xu, Baokun Chen, Weiyou |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 37 () nr. 11 pagina's 1297-1301 |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 46 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |