|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Polymer residue chemical composition analysis and its effect on via contact resistance in dual damascene copper interconnects process integration |
| Auteur: |
Zheng, Y.S. Guo, Q. Su, Y.J Foo, P.D. |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 34 () nr. 2 pagina's 109-113 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |