Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 9 van 14 gevonden artikelen
 
 
  Investigation of the effects of byproduct components in Cu plating for advanced interconnect metallization
 
 
Titel: Investigation of the effects of byproduct components in Cu plating for advanced interconnect metallization
Auteur: Koh, L.T.
You, G.Z.
Li, C.Y.
Foo, P.D.
Verschenen in: Microelectronics journal
Paginering: Jaargang 33 () nr. 3 pagina's 229-234
Jaar: 2002
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Science Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 9 van 14 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland