|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Nitrogen incorporation during N20- and NO-oxidation of silicon at temperatures down to 600°C |
| Auteur: |
Weidner, G. Krüger, D. Weidner, M. Grabolla, T. |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 27 () nr. 7 pagina's 647-656 |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 11 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |