|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
FT-IR, SIMS and electrical characterization of Si3N4 thin films obtained from CVD, assisted by in situ electrical discharge |
| Auteur: |
Balland, B. Botton, R. Lemiti, M. Bureau, J.C. Glachant, A. |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 24 () nr. 4 pagina's 389-393 |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |