|
Laterally excited bulk wave resonators on ZY-Plane LiNbO3: Optimization, fabrication, and de-embedding structure for accurate parameter extraction |
|
|
|
Titel: |
Laterally excited bulk wave resonators on ZY-Plane LiNbO3: Optimization, fabrication, and de-embedding structure for accurate parameter extraction |
Auteur: |
Lv, Shitao Sun, Xinyi Zhang, Yuxin Zhang, Kaihong Feng, Changle Cao, Yi Sun, Haiyan Zhao, Jicong |
Verschenen in: |
Microelectronics journal |
Paginering: |
Jaargang 156 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|