|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of Zr–N thin films for use as diffusion barrier in Cu metallization |
| Auteur: |
Wang, Ying Cao, Fei Ding, Minghui Yang, Dawei |
| Verschenen in: |
Microelectronics journal |
| Paginering: | Jaargang 38 (2007) nr. 8-9 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |