|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 28 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Study on the applications of SiC thin films to MEMS techniques through a fabrication process of cantilevers |
| Auteur: |
Hyun, J.-S. Park, J.-H. Moon, J.-S. Park, J.H. Kim, S.H. Choi, Y.J. Lee, N.-E. Boo, J.-H. |
| Verschenen in: |
Progress in solid state chemistry |
| Paginering: | Jaargang 33 (2005) nr. 2-4 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 28 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |