|
Properties of tantalum oxynitride thin films produced by magnetron sputtering: The influence of processing parameters |
|
|
|
Titel: |
Properties of tantalum oxynitride thin films produced by magnetron sputtering: The influence of processing parameters |
Auteur: |
Cristea, D. Constantin, D. Crisan, A. Abreu, C.S. Gomes, J.R. Barradas, N.P. Alves, E. Moura, C. Vaz, F. Cunha, L. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 98 (2013) nr. C pagina's 7 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|