|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Etch characteristics of CoFeB magnetic thin films using high density plasma of a H2O/CH4/Ar gas mixture |
| Auteur: |
Lee, Il Hoon Lee, Tea Young Chung, Chee Won |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 97 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |