|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 50 gevonden artikelen
| Titel: |
Capacitively coupled radio frequency nitrogen plasma etch damage to N-type gallium nitride |
| Auteur: |
Kawakami, Retsuo Takeichi, Atsushi Niibe, Masahito Konishi, Masashi Mori, Yuta Kotaka, Takuya Inaoka, Takeshi Tominaga, Kikuo Mukai, Takashi |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 87 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 50 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |