|
Deposition of microcrystalline intrinsic silicon by the Electrical Asymmetry Effect technique |
|
|
|
Titel: |
Deposition of microcrystalline intrinsic silicon by the Electrical Asymmetry Effect technique |
Auteur: |
Hrunski, D. Mootz, F. Zeuner, A. Janssen, A. Rost, H. Beckmann, R. Binder, S. Schüngel, E. Mohr, S. Luggenhölscher, D. Czarnetzki, U. Grabosch, G. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 87 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|