|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 46 gevonden artikelen
| Titel: |
CF3 + etching silicon surface: A molecular dynamics study |
| Auteur: |
Zhao, C. Lu, X. He, P. Zhang, P. Sun, W. Zhang, J. Chen, F. Gou, F. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 86 (2012) nr. 7 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 46 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |