|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 37 van 73 gevonden artikelen
| Titel: |
Modelling of low-energy-implanted phosphorus diffusion during rapid thermal processing of the semiconductor structures |
| Auteur: |
Mironov, A.M. Komarov, F.F. Komarov, A.F. Tsurko, V.A. Zayats, G.M. Velichko, O.I. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 83 (2009) nr. S1 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 37 van 73 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |