|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Towards the sub-50nm magnetic device definition: Ion beam etching (IBE) vs plasma-based etching |
| Auteur: |
Peng, Xilin Wakeham, Stacey Morrone, Augusto Axdal, Steven Feldbaum, Michael Hwu, Justin Boonstra, Tom Chen, Yonghua Ding, Juren |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 83 (2009) nr. 6 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |