|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 24 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
The influence of dilution of the reactive gases in argon on electro-physical properties of ultra-thin silicon oxynitride layers formed by PECVD |
| Auteur: |
Mroczyński, Robert Beck, Romuald B. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 81 (2007) nr. 5 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 24 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |