|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of additional leakage resulting from the feeding motion of a vacuum-compatible air bearing stage |
| Auteur: |
Khim, Gyungho Park, Chun-Hong Lee, Husang Kim, Seung-Woo |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 81 (2006) nr. 4 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |