|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 55 van 67 gevonden artikelen
| Titel: |
Surface blistering of low-temperature annealed hydrogen and helium co-implanted silicon and its application to splitting of bonded wafer substrates |
| Auteur: |
Hurley, R.E. Wadsworth, H. Gamble, H.S. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 81 (2007) nr. 10 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 55 van 67 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |