|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of spatial plasma distribution in a divergence-type ECR-PECVD system |
| Auteur: |
Chen, Jun-Fang Fu, Si-Lie Lai, Xiu-qiong Xiang, Peng-Fei Li, Yun Wu, Xian-Qiu |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 81 (2006) nr. 1 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |