|
Development of a compact angle-resolved secondary ion mass spectrometer for Ar+ sputtering |
|
|
|
Titel: |
Development of a compact angle-resolved secondary ion mass spectrometer for Ar+ sputtering |
Auteur: |
Kawaguchi, Shinichi Tanemura, Masaki Kudo, Masato Handa, Nobumasa Kinoshita, Naokazu Miao, Lei Tanemura, Sakae Gotoh, Yasuhito Liao, Meiyong Shinkai, Satoko |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 80 (2006) nr. 7 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2006 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|