|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 24 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of gas mixing ratio on MgO etch behaviour in inductively coupled BCl3/Ar plasma |
| Auteur: |
Kim, Gwan-ha Kim, Chang-Il Efremov, Alexander M. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 79 (2005) nr. 3-4 pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 24 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |