|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 102 gevonden artikelen
| Titel: |
Application of ion implantation for mono-Si piezoresistors manufacturing in silicon MEMS technology |
| Auteur: |
Jaroszewicz, B. Domanski, K. Tomaszewski, D. Janus, P. Kudla, A. Latecki, B. Kociubinski, A. Nikodem, M. Katcki, J. Wzorek, M. Marczewski, J. Grabiec, P. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 78 (2005) nr. 2-4 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2005 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 102 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |