|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Amorphous hydrogenated carbon films used as masks for silicon microtips fabrication in a reactive ion etching with SF6 plasma |
| Auteur: |
Alves, Marco A.R. Porto, Lésnir F. de Faria, Pedro H.L. Braga, Edmundo S. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 72 (2004) nr. 4 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 23 gevonden artikelen
| volgende >> |