Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 13 van 21 gevonden artikelen
 
 
  Optimization of PECVD silicon oxynitride films for anti-reflection coating
 
 
Titel: Optimization of PECVD silicon oxynitride films for anti-reflection coating
Auteur: Wang, Yongjin
Cheng, Xinli
Lin, Zhilang
Zhang, Changsheng
Zhang, Feng
Verschenen in: Vacuum
Paginering: Jaargang 72 (2003) nr. 3 pagina's 5 p.
Jaar: 2003
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 13 van 21 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland