|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimization of PECVD silicon oxynitride films for anti-reflection coating |
| Auteur: |
Wang, Yongjin Cheng, Xinli Lin, Zhilang Zhang, Changsheng Zhang, Feng |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 72 (2003) nr. 3 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |