|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Patterning of Ru electrode in O2/Cl2 gas using reactive ion etcher |
| Auteur: |
Kim, Hyoun Woo Ju, Byong-Sun Kang, Chang-Jin |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 71 (2003) nr. 4 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |