|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 64 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of input power on crystal orientation and residual stress in AlN film deposited by dc sputtering |
| Auteur: |
Kusaka, K Taniguchi, D Hanabusa, T Tominaga, K |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 59 (2000) nr. 2-3 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 64 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |