|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 8 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Etching of RuO2 and Pt thin films with ECR/RF reactor |
| Auteur: |
Baborowski, J Muralt, P Ledermann, N Hiboux, S |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 56 (2000) nr. 1 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 8 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |