|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Application of CCl2F2- and CCl4-based plasmas for RIE of GaSb and related materials |
| Auteur: |
Piotrowska, A Kamińska, E Piotrowski, T.T Guziewicz, M Golaszewska, K Papis, E Wróbel, J Perchuć, L |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 56 (2000) nr. 1 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |